Multi-wavelength images detector for micro-cathodoluminescence analysis

R. Machorro, M. Avalos Borja, E. Pérez Tijerina, I. Gradilla, V. E. Garcia, O. Contreras

Resumen


En este trabajo presentamos un novedoso instrumento capaz de colectar el espectro de emisión completo de cátodoluminiscencia, simultáneamente con imágenes de SEM. Se colecta y analiza la cátodoluminiscencia producida en un microscopio electrónico de barrido. La electrónica utilizada por el microscopio para barrer el haz de electrones y producir la imagen es utilizada por el espectrógrafo para sincronizar la adquisición de espectros. En cada punto de la muestra se adquiere el espectro completo. Todos los datos son grabados y guardados en un archivo electrónico. Con esta información es posible reconstruir imágenes pancromáticas y/o monocromáticas de la muestra y correlacionar sus propiedades ópticas con la microestructura. En lugar de un espejo elíptico para colectar la luz, como en el sistema convencional de CL, se utiliza una sola fibra óptica. Esta nueva manera de adquirir la luz permite una reducción en la distancia de trabajo (menor a 5 mm) en el microscopio, logrando así una mejor resolución espacial. Otra ventaja de este arreglo es que nosotros podemos usar otros modos de detección simultáneamente como los electrones retrodispersados, rayos X, etc. Se muestran algunos ejemplos para ilustrar las capacidades del instrumento.


Palabras clave


Catodoluminiscencia; espectroscopia

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